参数
任意方向负载:10Kg
A.微动
XYZ行程:±5mm
θXθYθZ行程:±0.25°
XYZ重复精度:±0.5μm
θXθYθZ重复精度:≤±3μrad
B.纳动
XYZ行程:±3.5μm
θXθYθZ行程:±40μrad
XYZ重复精度:±5nm
θXθYθZ重复精度:±0.5μrad