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高真空平台
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高真空平台
产品详情
参数
任意方向负载:15Kg
XYZ行程:±26mm
θXθYθZ行程:±9°
XYZ重复精度:±0.5μm
θXθYθZ重复精度:±2μrad
ꄴ
前一个:
超大负载
ꄲ
后一个:
微纳结合平台
ꄶ
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SH-810
SH-820
SH-630
SH-610
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纳米定位平台
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真空版本
超大负载
大行程
SH-630C
大负载
70KG调整机构
Hexapod控制器
넳
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