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超大负载
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ꁇ
超大负载
产品详情
参数
任意方向负载:1.6T
XYZ行程:±5mm
θXθYθZ行程:±0.75°
XYZ重复精度:±1μm
θXθYθZ重复精度:±5μrad
ꄴ
前一个:
调焦平台
ꄲ
后一个:
高真空平台
ꄶ
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SH-630
SH-610
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大行程
SH-630C
大负载
70KG调整机构
Hexapod控制器
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