参数 负载 10kg 重复性 ±0.2μm 行程范围 100mm/60° 设计分辨率 16nm 平均无故障时间 20000h 速度 50mm/s
强大的数字控制器,开放的软件架构 自定义的枢轴点 在笛卡尔坐标下表示平台位置,提供运动空间模拟软件
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SH-630规格参数